钛-钨TiW-30

  • 品牌:TRANSENE
  • 纯度:
  • 等级:
  • 编号:TSA0537-1GAL
  • 单价:¥3800.00
  • 货期: 4-6周
  • 仓库:天津
  • 规格: 1加仑
  • 数量:
    -
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说明

 

TiW30是微电子产品中钛钨粘结层的选择蚀刻剂。TiW30能有效地蚀刻沉积在铜、氮化硅和氧化硅上的钛钨薄膜。TiW30蚀刻的线路轮廓清晰、蚀刻速率可控。与阴、阳性光刻胶具有广泛的匹配性。

 

性质

 

外观

水白色

蚀刻速率,25

1015 Å/

操作温度

2540

冲洗

去离子水

贮存

0

有效期

25℃,2个月

0℃,6个月

 

应用

 

TiW30是专门设计用来去除二氧化硅和氮化硅等基板上钛钨合金粘结层的使用方便的溶液。TiW30不浸蚀铜膜。将此蚀刻剂加热到40℃会加快对厚膜的蚀刻速率。

 Transene Co INC公司是在1965年由Dr. Benjamin P. Hecht.博士所创建的,其公司宗旨在于为电子和航空产品研制和开发新型材料。经营范围包括介电材料、半导体、玻璃、电阻材料、粘合剂、电泳电极涂料、微波材料、保护涂料、光电导体、属配方和化学蚀刻剂等。


  Transene品牌的电子化学品已经被国际知名的多家半导体厂家认可。

  Transene产品广泛应用于半导体微型电子产品、薄膜和厚膜混合体、微型电子线路、电子构件和其他电子产品等。

  近年来中国在电子领域的研究和生产有了突飞猛进的发展,电子化学品是电子工业的配套材料之一,电子产品的不断更新换代离不开电子化学品的支持。


  为了满足国内商家对电子化学品的需求,易化360将Transene 电子化学品引入中国。易化360(www.echem360.com)作为Transene在中国的总代理商,全面负责Transene产品在中国的销售及客户服务工作。

Etchant/Metal Compatibility Chart

蚀刻表格如下: